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田尧

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇国内会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇微机电系统
  • 2篇机电系统
  • 2篇电系统
  • 1篇热压键合
  • 1篇耐腐蚀
  • 1篇耐腐蚀性
  • 1篇金属
  • 1篇金属钛
  • 1篇机械特性
  • 1篇键合
  • 1篇腐蚀性
  • 1篇感应耦合
  • 1篇TI
  • 1篇钛
  • 1篇MEMS器件
  • 1篇玻璃衬底
  • 1篇衬底

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇赵刚
  • 2篇舒琼
  • 2篇田尧
  • 1篇张轶铭
  • 1篇张乐吟
  • 1篇李文

传媒

  • 2篇中国微米纳米...

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Ti DRIE中Lag效应的基础研究
金属钛DRIE工艺是最近发展的一种新型MEMS加工工艺，这种技术利用感应耦合产生高密度等离子体对钛进行刻蚀，通常采用Cl2气体，无钝化周期，侧壁陡直光滑。它可以通过光刻图形定义在钛本体上加工高深宽比结构，利用金属钛良好的...
张乐吟赵刚舒琼田尧陈兢
关键词：金属钛感应耦合机械特性耐腐蚀性微机电系统
文献传递
基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺
随着MEMS的发展和DRIE工艺的进步，一批基于SOI(绝缘体上硅)、SOG(玻璃上硅)的MEMS器件如开关、谐振器、陀螺、加速度计，由于结构深宽比高，工艺简单，效率高，电容极板面积大，占用芯片面积小，成为研究热点。但是...
张轶铭舒琼赵刚田尧李文陈兢
关键词：热压键合MEMS器件微机电系统玻璃衬底
文献传递
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