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马青华

作品数：5 被引量：27H指数：2
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院电子工程系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇压力传感器
  • 2篇力传感器
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 2篇感器
  • 2篇硅
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇心导管
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻式
  • 1篇掩模
  • 1篇异丙醇
  • 1篇水系统
  • 1篇四甲基
  • 1篇四甲基氢氧化...
  • 1篇氢氧化
  • 1篇氢氧化铵
  • 1篇微机械
  • 1篇微型压力传感...
  • 1篇微压

机构

  • 5篇复旦大学

作者

  • 5篇马青华
  • 3篇鲍敏杭
  • 3篇沈绍群
  • 2篇胡澄宇
  • 1篇陈宏
  • 1篇陶盛
  • 1篇吴宪平
  • 1篇胡美凤

传媒

  • 2篇传感技术学报
  • 1篇半导体技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇航空计测技术

年份

  • 1篇1996
  • 1篇1995
  • 2篇1994
  • 1篇1993
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
压阻式医用导管端微型压力传感器被引量：1
1993年
本文探讨了对压阻式导管端压力传感器微型化起限制作用的一些因素.根据(100)硅各向异性腐蚀的特点和矩形硅膜上的应力分布曲线,分析了硅片厚度和力敏电阻区尺寸对传感器压力灵敏度的影响.介绍了一种微型化的压阻式医用导管端压力传感器的设计、制造工艺和钝化与封装技术.该传感器芯片尺寸为1mm×2.5mm×0.16mm;量程为40kPa;灵敏度约为100μV/V·kPa;静态精度约0.3％FS;固有频率高达350kHz.其制造工艺适用于批量生产.
吴宪平胡美凤沈嘉英马青华
关键词：压力传感器心导管压阻式
微压压力传感器的结构改进被引量：9
1995年
硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构。用这些结构都已制成全程为1kPa的压力传感器。
鲍敏杭沈绍群陈宏马青华
关键词：微压压力传感器传感器
加工对称梁岛结构的微机械加工新技术
1996年
本文报道了一种用无掩模腐蚀技术加工对称梁岛结构的微机械加工技术。根据硅台阶在ＫＯＨ无掩模腐蚀下形状和尺寸的变化规律，可以设计制造出一般掩模腐蚀难以形成的微机械对称梁岛结构。由于该技术工艺简单，易于控制，为制作对称梁岛结构的硅电容加速度传感器提供了新的加工手段。
陶盛马青华
关键词：微机械无掩模半导体器件
硅各向异性腐蚀＜110＞条补偿图形腐蚀前沿控制被引量：16
1994年
本文报道了一种由＜１１０＞条组成的，用于（１００）硅ＫＯＨ各向异性腐蚀的凸角补偿图形．该图形的设计特点是利用不对称的分枝和端点弯头对条上腐蚀前沿实现控制使补偿后凸角的削角大大减小．文中给出常用补偿图形的有效补偿长度和临界补偿时的削角比．该方法已应用于微机械硅加速度传感器的掩模设计．
鲍敏杭沈绍群胡澄宇马青华Chr.BurrerJ.EsteveJ.BausellsS.Marco
关键词：硅各向异性
四甲基氢氧化铵:异丙醇:水系统对硅的各向异性腐蚀被引量：2
1994年
本文研究了在25%的四甲基氢氧化铵水溶液(TMAHW)中加入异丙醇(IPA)构成的腐蚀系统对硅的各向异性腐蚀特性.研究发现:在异丙醇含量从0%到80%体积比的广大范围内,溶液对硅均有显著的腐蚀作用,且表面质量比纯TMAHW的更好.实验给出了腐蚀速率、削角比和各向异性比R_(100)/R_(111)等参数与IPA含量的关系,结果表明:50%体积IPA与50%体积TMAHW构成的溶液存在腐蚀速率的极大值、削角的极小值和最大的各向异性比及R_(100)/R_(111).因之按此比例配制的新腐蚀液具有表面质量好,与MOS工艺相容以及低成本的优点.
马青华鲍敏杭沈绍群胡澄宇
关键词：硅各向异性腐蚀氢氧化铵异丙醇
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