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陈宏
作品数:
7
被引量:49
H指数:4
供职机构:
复旦大学信息科学与工程学院计算机科学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
鲍敏杭
复旦大学信息科学与工程学院电子...
沈绍群
复旦大学信息科学与工程学院电子...
马青华
复旦大学信息科学与工程学院电子...
胡澄宇
复旦大学信息科学与工程学院电子...
朱海军
复旦大学信息科学与工程学院电子...
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陈宏
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1995
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横向加速度传感器设计及特性研究
被引量:4
1997年
一般微机械加工的梁──岛结构加速度传感器,梁的平面都是与器件平面平行的,因此只能测量器件平面法向的加速度分量.我们提出了一种制作梁平面与器件平面相垂直的梁──岛结构的微机械加工方法,并用以设计和制造了一种可测量平行于器件平面的加速度分量的横向加速度传感器,为研制三维加速度传感器提供了新思路.
朱海军
陈宏
鲍敏杭
关键词:
横向加速度
传感器
一种基于质量的Web服务选择方法
Web服务技术是一种组件集成技术,提供了组件之间跨平台的相互操作的能力。它在Internet的环境下将服务进行整合,使得各种各样的服务可以被组合在一起,为Internet上的用户所调用。但当前Web服务技术也面临一些急需...
陈宏
彭敦陆
王晓玲
周傲英
关键词:
QOS
UDDI
文献传递
硅压阻式加速度传感器的结构研究
被引量:7
1996年
结合实际器件设计,对三种压阻式加速度传感器结构即双悬臂梁、四梁和双岛-五梁结构进行了详细的力学分析和特性比较,得到了理论计算的灵敏度、固有频率和阻尼等特性,器件的测试结果与理论计算值基本相符,目前三种结构的器件都已实用化,封装后的质量小于1g.该项工作为实际应用中根据不同量程要求选取不同的器件结构与参数提供了依据.
陈宏
鲍敏杭
胡澄宇
关键词:
加速度
传感器
压阻式
硅
硅微加速度传感器过载能力的研究
被引量:7
1996年
过载能力是加速度传感器的重要参数之一,缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力,并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力,达到了实用的要求.本文还对测量器件过载能力的落锤法所产生冲击加速度的规律和标定方法进行了研究,并建立了测试系统,对器件进行了冲击过载测试.
陈宏
沈绍群
鲍敏杭
关键词:
硅
加速度传感器
过载能力
加速度计
硅微结构加速度传感器空气阻尼的研究
被引量:25
1995年
本文从理论上和实验上对硅压阻式加速度传感器的三种结构:悬臂梁、四梁和双岛-五梁的空气阻尼问题进行了研究.在这三种结沟中,四梁结构的质量块具有平行的运动方式,但是悬臂梁和双岛-五梁结构中的质量块既有平动又有转动,对这种非平动状态的空气阻尼的分析尚未见报道.本文从决定平板运动阻尼特性的Reynolds方程出发。在平板平动情况解的基础上推导了非个动板的阻尼力以及双面阻尼的阻尼力.用这些结果对三种结构进行了单面和双面阻尼设计,实验结果与理论分析相符.
陈宏
鲍敏杭
关键词:
加速度传感器
硅微结构
微压压力传感器的结构改进
被引量:9
1995年
硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的适用于微压压力传感器的梁膜(岛)结构以及以后几年来出现的相近的结构。用这些结构都已制成全程为1kPa的压力传感器。
鲍敏杭
沈绍群
陈宏
马青华
关键词:
微压
压力传感器
传感器
对称岛膜结构线性硅电容压力传感器设计
1993年
本文介绍了一种新型的方岛膜压力敏感电容结构,结合适当的接口技术可实现良好的线性化输出。
李昕欣
陈宏
鲍敏杭
关键词:
电容
压力传感器
硅
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