谢琪
- 作品数：7 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国科学院更多>>
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- 一种分子束源炉
- 本实用新型涉及分子束外延技术,具体地说是一种分子束源炉。由钽筒、坩埚、加热丝、炉座、测温元件及支架组成,其中钽筒为多层结构,最外层钽筒罩坩埚于上炉座内,最内层钽筒无上下底,自上而下分为多段,每两段之间安设一绝缘环于坩埚外...
- 李重茂谢琪赵科新谢淑珍
- 文献传递
- 金属有机源分子束外延设备的研制
- 本文报道了金属有机源分子束外延设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。外延生长工艺过程由计算机控制。
- 谢琪
- 关键词：气路系统工业控制机工艺过程
- 文献传递
- 用于物理研究的分子束外延模拟实验装置
- 1990年
- 本文报道了一台用于物理研究的分子束外延模拟实验装置的设计和调试。这一模拟实验装置和商业化的大型测试仪器相连接,允许在不破坏超高真空状态时测试用分子束外延方法制备的样品,提供了开展应用研究和在线检测的手段。
- 董国胜侯晓远丁训民陈平张恩善谢琪
- 关键词：分子束外延物理研究在线检测测试仪器物理测试
- 环型磁钢驱动机械手
- 本结构属于一种真空设备内机械装置,其结构是外面为一不锈钢钢管,钢管内装有旋转软铁和往复运动软铁,软铁内装有运动杆,钢管外部相应装有旋转磁钢和往复运动磁钢,左端盖焊接密封,右端由法兰盘与真空设备固定联接,工作时驱动环型外磁...
- 雷震霖谢琪谢素珍李丛茂越科新
- 文献传递
- 国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果
- 1991年
- 研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。
- 孙殿照孔梅影韩汝水朱世荣阎春辉国红熙付首清周增圻张晓秋黄运衡谢琪刘世闯雷震林张利强余文斌乔金梁
- 关键词：化学束外延
- 金属有机源分子束外延设备的研制
- 1991年
- 本文报道了金属有机源分子束外廷设备的设计方案和技术特点。该设备最大样品尺寸为3英寸,3室结构,空气闭锁换样,6条气路。
- 谢琪刘世闯雷震霖张利强余文斌乔金梁孔梅影孙殿照韩汝水朱世莱阎春辉
- 关键词：金属有机化合物分子束外延
- UHV/CVD 设备及其特性被引量：8
- 1997年
- 本文描述超高真空化学气相淀积系统（ＵＨＶ／ＣＶＤ）的设计思想、系统的结构和性能，着重介绍超高真空的获得和系统的特点，将为“第二代硅”ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结材料的生长及未来的光电子集成提供有力的工具。
- 雷震霖赵科新余文斌任国豪谢琪余金中成步文于卓于卓于卓
- 关键词：硅ICUHV/CVD半导体薄膜技术
