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江炎

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北工业大学更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文科技成果

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇AL-MG

机构

  • 1篇河北工业大学

作者

  • 1篇江炎
  • 1篇王胜利
  • 1篇李振霞
  • 1篇牛新环
  • 1篇边征
  • 1篇檀柏梅
  • 1篇孙业林
  • 1篇张研

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Al-Mg/W-Mo合金化学机械抛光技术研究
王胜利李振霞牛新环檀柏梅边征张研江炎孙业林
Al-Mg/W-Mo等合金材料表面加工过去以单一机械切削或研磨抛光为主，加工精度较低，表面粗糙度只能达到微米级，成为制约进一步精密化发展的“瓶颈”之一。该项目将半导体制造中化学机械抛光(CMP)技术拓展到精密物理实验特定...
关键词：
关键词：化学机械抛光
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