您的位置： 专家智库 > >

西默有限公司

作品数：207 被引量：0H指数：0
相关机构：ASML荷兰有限公司更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 207篇中文专利

领域

  • 31篇电子电信
  • 19篇自动化与计算...
  • 9篇电气工程
  • 7篇机械工程
  • 6篇理学
  • 3篇文化科学
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇经济管理
  • 1篇化学工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 69篇光源
  • 57篇激光
  • 56篇光学
  • 50篇光刻
  • 45篇脉冲
  • 38篇光束
  • 34篇放电
  • 30篇激光器
  • 29篇光谱特征
  • 27篇光谱
  • 21篇光学元件
  • 20篇重复率
  • 19篇光刻系统
  • 18篇控制系统
  • 18篇波长
  • 16篇致动
  • 16篇气体放电
  • 16篇光学系统
  • 14篇电极
  • 11篇电光

机构

  • 207篇西默有限公司
  • 18篇ASML荷兰...

年份

  • 18篇2025
  • 39篇2024
  • 24篇2023
  • 35篇2022
  • 28篇2021
  • 23篇2020
  • 16篇2019
  • 10篇2018
  • 6篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 4篇2014
共 207 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
用于改进DUV激光对准的量测
光源设备包括气体放电级、感测设备、光学布置、调整设备和控制设备。气体放电级包括光学放大器和一组光学元件，光学放大器包括被配置为保持输出光束的气体放电介质的腔室，光学元件被配置为在光学放大器周围形成光学谐振器。光学布置被配...
赵中全
脉冲光束的光谱特征选择和脉冲时序控制
一种方法包括：在以脉冲重复率产生脉冲突发的同时，以与脉冲重复率相关的频率在一组离散状态之间驱动光谱特征调节器；以及在脉冲突发的产生之间(在没有脉冲产生的同时)之间，根据由一组参数限定的驱动信号来驱动光谱特征调节器。每个离...
K·M·奥布里恩T·P·达菲J·J·索内斯
感测氟浓度的装置和方法
本发明的实施例涉及用于测量在准分子激光器中使用的激光气体中的F2的浓度的装置和方法。在一个或多个实施例中，使用石英增强光声光谱法以仅使用少样品量快速地获取F2浓度的直接测量。
T·P·达菲
辐射源测试
一种生成用于辐射源的测试的方法，该辐射源用于光刻设备，该方法包括以下步骤：接收与辐射源的多个发射图案相对应的数据。该方法还包括以下步骤：分析数据以确定用于配置一个或多个另外的发射图案的参数，该一个或多个另外的发射图案用于...
R·A·布尔德特T·P·达菲
文献传递
气体放电光源中的气体混合物控制
本公开涉及气体放电光源中的气体混合物控制。气体放电光源包括气体放电系统，其包括一个或多个气体放电室。气体放电系统中的每个气体放电室填充有相应的气体混合物。对于每个气体放电室，通过激活其相关联的能量源来将脉冲能量供应给相应...
R·阿拉瓦特T·亚加瓦尔
用于材料供应设备的过滤器
一种在目标材料供应设备中使用的过滤器，该过滤器包括具有第一平坦表面和第二平坦表面以及多个通孔的薄片。第一平坦表面与保持有目标混合物的储蓄容器流体连接，该目标混合物包括目标材料和非目标微粒。通孔从第二平坦表面延伸并在第二平...
I·V·福缅科夫W·N·帕特洛G·O·瓦斯恩冦W·奥尔德姆
文献传递
用于在激光器腔室中调谐放电性能的装置
公开了一种激光器放电腔室，其中通过使用腔室内部几何形状的设计、腔室内的部件(诸如电极、电流回路和电容器)的放置和分布，以及这些部件的一些部分的选择性电隔离中的一项或组合，进行局部电调谐来延长使用寿命。
E·S·罗R·C·乌亚德沃斯基徐爽
文献传递
对用于半导体光刻的光源的模块的维护
用于维护用于半导体光刻的光源的系统，其中构成光源的部分的模块以各种脉冲计数进行评价，以产生关于模块是否足够可能在后续脉冲序列中无故障操作的二元预测。可以通过机器学习模型做出二元预测，该机器学习模型根据度量进行训练，该度量...
R·A·布尔德特K·R·古文丹·拉朱M·米纳卡伊斯D·W·曼利
导管系统、辐射源、光刻装置及其方法
一种脉冲放电辐射源包括气体腔室、窗口和导管系统。该导管系统包括再填充路径和导管。脉冲放电辐射源生成辐射。气体腔室局限在生成辐射期间所产生的气体和污染物。窗口将气体与气体腔室外部的环境隔离，并且允许辐射在气体腔室与环境之间...
E·S·罗T·D·斯泰格A·J·小艾芬伯格M·A·哈梅奇
用于散斑减少的堆叠的共焦脉冲展宽器系列
提供了一种扩展的光学脉冲展宽器，该扩展的光学脉冲展宽器组合共焦脉冲展宽器，以在每个光路配置中生成例如4次反射、4次反射、12次反射和12次反射。包括不同反射镜分隔和延迟路径长度的组合可以导致非常长的脉冲展宽、长的光学延迟...
E·A·梅森赵中全叶红
文献传递
全选 清除 导出
共21页<12345678910>
聚类工具0