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ULVAC韩国股份有限公司

作品数：16 被引量：0H指数：0
相关机构：爱发科股份有限公司更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺文化科学电气工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 16篇中文专利

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 1篇经济管理
  • 1篇电气工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 6篇基板
  • 6篇磁铁
  • 4篇永久磁铁
  • 4篇托盘
  • 4篇磁控管
  • 3篇靶材
  • 2篇导引
  • 2篇底座
  • 2篇电磁铁
  • 2篇电源
  • 2篇永久磁体
  • 2篇通孔
  • 2篇图案
  • 2篇驱动电源
  • 2篇热传导
  • 2篇组件
  • 2篇外周
  • 2篇链接
  • 2篇可旋转
  • 2篇控制系统

机构

  • 16篇ULVAC韩...
  • 4篇爱发科股份有...

年份

  • 1篇2025
  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 5篇2019
  • 1篇2016
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
磁控管溅射装置的磁铁控制系统
本发明涉及控制可利用在磁控管溅射装置的磁铁的系统等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁控制系统包括：驱动电源部；包括多个磁铁集合体的磁性产生部；及包括选择性地能够控制所述驱动电源部和所述多个磁铁集合体中一个以上开关的磁性控制部...
金正健苏秉镐全明雨高武昔李九铉
文献传递
基板转移装置
本发明提供一种基板转移装置，所述基板转移装置包含：托盘，基板安装在所述托盘上；磁性转移部分，其安置在所述托盘下方，磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；导引单元，其导引所述托盘的转移而不接触所述托盘；以及间隙维持构...
金正健金善吉金南训金锺大高元一苏秉镐孙承京李起泰李尚浩千敏镐韩应龙
磁控溅射装置的磁体集合体
根据一实施例的磁控溅射装置的磁体集合体，其包括：磁轭；电磁体，配置在所述磁轭上，在垂直于所述磁轭的方向上具有不同的磁极；以及永久磁体，以与所述电磁体分隔的方式配置在所述磁轭上，并且，围绕所述电磁体的至少一部分。
金正健 苏秉镐 高武昔 卞东范
磁铁结构体、磁铁单元及包括此的磁控管溅射装置
本发明涉及可利用在磁控管溅射装置的磁铁等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁结构体包括永久磁铁；及使围绕所述永久磁铁的线。
金正健苏秉镐金宣映禹昌远赵成基
文献传递
溅射装置
根据一实施例的溅射装置，包括：工作台，以支撑具有细微图案的基板的状态旋转；靶材，与所述基板相对；以及切断部件，包括配置于所述工作台及靶材之间的切断主体，以及形成于所述切断主体并从所述靶材分离，以使行进至所述基板的成膜材料...
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磁控溅射装置的磁体集合体
根据一实施例的磁控溅射装置的磁体集合体，其包括：磁轭；电磁体，配置在所述磁轭上，在垂直于所述磁轭的方向上具有不同的磁极；以及永久磁体，以与所述电磁体分隔的方式配置在所述磁轭上，并且，围绕所述电磁体的至少一部分。
金正健苏秉镐高武昔卞东范
磁控管溅射装置的磁铁控制系统
本发明涉及控制可利用在磁控管溅射装置的磁铁的系统等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁控制系统包括：驱动电源部；包括多个磁铁集合体的磁性产生部；及包括选择性地能够控制所述驱动电源部和所述多个磁铁集合体中一个以上开关的磁性控制部...
金正健苏秉镐全明雨高武昔李九铉
基板转移装置
本发明提供一种基板转移装置，所述基板转移装置包含：托盘，基板安装在所述托盘上；磁性转移部分，其安置在所述托盘下方，磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；导引单元，其导引所述托盘的转移而不接触所述托盘；以及间隙维持构...
金正健金善吉金南训金锺大高元一苏秉镐孙承京李起泰李尚浩千敏镐韩应龙
文献传递
磁铁结构体、磁铁单元及包括此的磁控管溅射装置
本发明涉及可利用在磁控管溅射装置的磁铁等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁结构体包括永久磁铁；及使围绕所述永久磁铁的线。
金正健苏秉镐金宣映禹昌远赵成基
文献传递
电磁铁组件的制备方法
根据一个实施例，电磁铁组件的制备方法可包括以下步骤：制备包含突出部和包围所述突出部的外围部的框架；在所述突出部的外周配置线圈来包掩所述突出部；在常温和常压下加热具固体状态的热传导物质使其变为液体状态；将所述液体状态的热传...
金正健苏秉镐卞东范全瑛奎高武昔
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共2页<12>
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