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国家高技术研究发展计划(2004AA843082)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：曹磊峰谢常青王德强叶甜春更多>>
相关机构：中国工程物理研究院中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
王德强
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：X射线光刻 波带片 X射线 电子束 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：沟道 X射线光刻 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹磊峰
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：波带片 单级 软X射线 衍射光栅 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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