2025年12月4日
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闫宝华
作品数:
2
被引量:14
H指数:2
供职机构:
河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
孙增标
河北工业大学信息工程学院微电子...
张研
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘效岩
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
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孙增标
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP SIO 混合磨料 化学机械抛光 微晶玻璃
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所获资助
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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张研
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP SIO 混合磨料 微晶玻璃
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申晓宁
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:串行通信 RS232 各向异性腐蚀 多线程 单晶硅
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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刘效岩
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:化学机械抛光 CMP 晶片 工艺技术 硅片表面
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