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孙鹏

作品数：27 被引量：16H指数：3
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术交通运输工程航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 4篇自动化与计算...
  • 3篇交通运输工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇航空宇航科学...
  • 1篇电子电信

主题

  • 7篇微系统
  • 7篇封装
  • 6篇陀螺
  • 6篇卫星
  • 6篇硅基
  • 6篇MEMS陀螺
  • 4篇导航
  • 4篇芯片
  • 4篇敏感器
  • 4篇抗振性
  • 4篇刚挠结合板
  • 3篇导弹
  • 3篇湿法腐蚀
  • 3篇卫星通讯
  • 3篇互连
  • 3篇键合
  • 3篇舰载
  • 3篇舰载设备
  • 3篇惯性器件
  • 3篇感器

机构

  • 27篇北京航天控制...

作者

  • 27篇孙鹏
  • 17篇邢朝洋
  • 6篇徐宇新
  • 6篇庄海涵
  • 5篇曾宪超
  • 5篇李海兵
  • 5篇朱政强
  • 5篇杨亮
  • 4篇徐杰
  • 2篇孙丽艳
  • 2篇王巍
  • 2篇阎璐
  • 2篇张帅
  • 2篇米军辉
  • 2篇郭猛
  • 2篇王玉良
  • 2篇李双玉
  • 1篇梁德春
  • 1篇马高印
  • 1篇刘福民

传媒

  • 3篇导航与控制

年份

  • 2篇2025
  • 1篇2024
  • 4篇2023
  • 3篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 4篇2019
  • 3篇2018
  • 6篇2017
共 27 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法
本申请涉及一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法，包括包括依次电连接的第一无源转接板、第二无源转接板、第三无源转接板、第四无源转接板，第二无源转接板朝向第三无源转接板的表面电连接有第一有源芯片，第三无源转接板...
邢朝洋赵雪薇李男男孙鹏
大量程MEMS陀螺仪在高速旋转导弹上的应用被引量：3
2017年
弹旋频率是影响旋转导弹制导精度的主要因素之一。本文提出了一种弹旋频率测量用大量程MEMS陀螺仪技术方案,开展了大量程MEMS陀螺仪在旋转导弹上的应用研究,解决了大量程MEMS陀螺仪在偏心安装、较大力学环境下提高测量精度等问题,通过了飞行试验验证,实现了旋转导弹弹旋频率的精确测量。
姚勤潘鹤斌孙鹏徐杰
关键词：MEMS大量程陀螺仪旋转导弹
一种微型定位导航授时终端
本发明提出了一种微型定位导航授时终端，包括MEMS陀螺、MEMS加速度计、微处理器、微型原子钟、GNSS导航芯片等主要功能元件，采用一体化设计的方法，实现了定位导航授时终端的高度集成和微型化。为了实现三轴MEMS陀螺、三...
王国栋杨亮曾宪超李海兵薛正兵李双玉姚贺张帅庄海涵孙鹏
文献传递
一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置
一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置，包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体；双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路，MEM...
孙鹏邱飞燕徐杰范冬青邢朝洋王玉良王增跃
文献传递
一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装
本发明公开了一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装，所述方法包括以下步骤：1)在晶圆正面进行MEMS芯片加工工艺，完成MEMS芯片正面工艺的制备；2)将晶圆正面与玻璃陪片贴在一起，在晶圆背面进行背腔的刻蚀，...
刘福民张树伟邱飞燕马高印孙鹏梅崴梁德春庄海涵
文献传递
用于辐照试验的MEMS惯性器件精确定位结构制作方法
用于辐照试验的MEMS惯性器件精确定位结构制作方法，先制作衬底，然后制作敏感结构，最后制作盖板，盖板上采用氢氧化钾湿法腐蚀硅片的方式形成辐照窗口，得到辐照屏蔽结构，该辐照屏蔽结构的位置需要正对着要进行辐照试验的敏感结构。...
邢朝洋李男男孙鹏赵雪薇朱政强孟凡琛宋健民徐宇新
文献传递
一种铜填充硅通孔电迁移测试结构制备方法及测试方法
本发明提供了一种铜填充硅通孔电迁移测试结构制备方法及测试方法，该方法将具有TSV菊花链测试结构的测试芯片，通过贴片胶及键合金丝连接至印制电路板；对载有测试芯片的印制电路板进行冷镶嵌，并通过磨抛获得TSV菊花链结构横截面，...
邢朝洋赵雪薇李男男朱政强孙鹏
文献传递
一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法
本申请涉及一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法，包括包括依次电连接的第一无源转接板、第二无源转接板、第三无源转接板、第四无源转接板，第二无源转接板朝向第三无源转接板的表面电连接有第一有源芯片，第三无源转接板...
邢朝洋 赵雪薇 李男男孙鹏
基于TSV转接板的硅基惯性微系统集成应力仿真及结构优化
为适应微小型制导弹药、无人机、微纳卫星等系统对高精度惯性导航、姿态控制的需求,MEMS惯性测量单元未来的发展方向是通过基于TSV转接板的SIP技术,形成更高集成度的、更小体积的硅基惯性微系统。
胡启方李男男邢朝洋梅崴孙鹏王国栋
关键词：微系统惯性器件应力
一种高密度集成无人机多任务时敏飞控导航系统及方法
本发明公开了一种高密度集成无人机多任务时敏飞控导航系统及方法，该系统包括：飞控导航运算处理模块、电源管理模块、多源感知测量模块、电调驱动模块、通信接口模块和带有安装孔的金属壳体；飞控导航运算处理模块、电源管理模块、多源感...
王巍孟凡琛邢朝洋孙鹏阚宝玺吴志刚陈巍
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