李东海
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 供职机构：天津大学电子信息工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 多孔硅层孔隙率对其热绝缘性能的影响
- 2008年
- 研究了多孔硅层孔隙率对其热绝缘性能的影响机制。以p+型硅片为基底,通过双槽电化学腐蚀法制备多孔硅。采用微拉曼光谱法对多孔硅的热导系数进行了测量,结果表明,多孔硅的热导系数随其孔隙率的增大而明显下降,实验中热导系数最低可达到0.624W/(m.K),从而通过降低热导系数使多孔硅的绝热性能得到了增强。
- 李东海胡明张伟崔梦
- 关键词：多孔硅孔隙率电化学腐蚀显微拉曼光谱绝热层
- 多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究被引量：9
- 2009年
- 以P＋型硅片为基底,利用双槽电化学腐蚀方法制备不同孔隙率的多孔硅（Porous Silicon）,介绍多孔硅气体传感器的原理和优点,通过SEM和AFM对PS薄膜的表面形貌进行分析,研究不同孔隙率条件下PS薄膜的气敏灵敏特性。结果表明：随着孔隙率的增加,PS薄膜的响应/恢复时间不断减小,薄膜对空气中较低浓度的NO2（体积分数为0.1×10^-5 - 6×10^-5）具有优异的敏感特性和响应特性。
- 李东海胡明孙凤云陈鹏孙鹏
- 关键词：NO2气体传感器多孔硅灵敏度孔隙率
- 两步热处理法对WO_3薄膜结构及其气敏性能的影响被引量：3
- 2008年
- 利用对靶磁控溅射的方法,在Al2O3基片上面生长WO3薄膜,并在200、300、400、600℃的空气环境中对薄膜进行了热处理,利用AFM、SEM及XRD方法观察了薄膜的表面形貌特征,分析了薄膜的性质和微观结构。根据SEM图观察可知,薄膜在退火温度为300℃时具有均匀的纳米颗粒,当再次退火温度>600℃时,观察薄膜表面形貌和颗粒结构没有任何改变,实验结果表明,当工作温度为250℃时,经过两步热处理方法制备的WO3薄膜对浓度为3×10-5的乙醇气体显示了优异的性能,通过两步热处理的方法能制备出稳定的WO3纳米薄膜结构。
- 李东海胡明尹英哲冯有才陈鹏
- 关键词：三氧化钨
