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汪钢

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇叠放
  • 2篇药液
  • 2篇金属回收
  • 2篇晶圆
  • 2篇回收
  • 2篇胶液
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶

机构

  • 2篇沈阳芯源微电...

作者

  • 2篇耿克涛
  • 2篇汪钢

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2017
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种晶圆撕金去胶清洗装置
本发明涉及一种晶圆加工设备，具体地说是一种晶圆撕金去胶清洗装置，包括浸泡单元、对中盒站单元、去胶单元、清洗单元、机器人和工作台，机器人设置于工作台中部，各个单元环设于所述机器人周围，设置于机器人同一侧的去胶单元和清洗单元...
耿克涛汪钢
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一种晶圆撕金去胶清洗装置
本发明涉及一种晶圆加工设备，具体地说是一种晶圆撕金去胶清洗装置，包括浸泡单元、对中盒站单元、去胶单元、清洗单元、机器人和工作台，机器人设置于工作台中部，各个单元环设于所述机器人周围，设置于机器人同一侧的去胶单元和清洗单元...
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