刘登华
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 硅片腐蚀单面保护夹具
- 本发明公开了一种硅片腐蚀单面保护夹具。该夹具包括有主体密封座、密封盖、内部加强板、气导管以及气导连接件等。通过其外部主体座密封式设计、内部加强板的结构设计和加装气体导出装置设计，使该夹具在湿法化学腐蚀和电化学腐蚀工艺中，...
- 刘登华徐岚冯志成
- 文献传递
- 离子源灯丝绝缘子的优化设计
- 2005年
- 通过对离子注入机离子源灯丝绝缘子的结构、尺寸、实际工作效果等方面的分析,提出了一种注入机离子源灯丝绝缘子的优化设计。该方案减少了离子源因绝缘效果不良引起的系统工作不稳定故障,灯丝使用寿命延长至50 h以上。
- 刘登华刘道广刘兴钊刘玉奎印子华邹昭伟王保刚
- 关键词：离子注入机离子源等离子体灯丝阳极
- 硅基集成电路的机械应力测试概述
- 2025年
- 随着集成电路集成密度越来越高,在制造和封装过程中积累的机械应力对器件电性能产生了显著影响,因此检测应力对改进与优化工艺特别重要。文章系统介绍了利用硅压阻效应测试封装应力的理论与发展状况,探讨了在芯片制造阶段利用压阻效应通过PCM来测试圆片应力的可行性,取得了初步的试验结果。试验表明十元单极传感器的n型压阻系数灵敏度比八元双极的n型压阻系数灵敏度高,十元单极结构用于应力测试的误差可能更大。后续可开展应力测试准确性的评价方法研究。
- 刘勇刘勇徐侧茗肖添刘登华兰贵明刘登华刘建李航王淼
- 关键词：封装压阻效应PCM圆片
- 硅片腐蚀单面保护夹具
- 本发明公开了一种硅片腐蚀单面保护夹具。该夹具包括有主体密封座、密封盖、内部加强板、气导管以及气导连接件等。通过其外部主体座密封式设计、内部加强板的结构设计和加装气体导出装置设计，使该夹具在湿法化学腐蚀和电化学腐蚀工艺中，...
- 刘登华徐岚冯志成
- 文献传递
- 用于离子注入机剂量控制器的质心修正算法
- 2019年
- 针对圆盘式全机械扫描注入机,分析了传统束斑中心算法的缺陷和问题,提出质心的概念来表征束斑的分布,并提出了一种用于注入机剂量控制器的质心修正算法。对这两种算法进行分析、仿真和验证。结果表明,采用质心修正算法后,有效解决了束斑的不同分布对注入剂量精度、片间均匀性和批次间重复性的影响。
- 唐绍根李海燕邹昭伟刘登华
- 关键词：离子注入机
