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周飞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇湿法腐蚀
  • 1篇SI

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇苏海军
  • 1篇傅恒志
  • 1篇刘林
  • 1篇周飞
  • 1篇张军

传媒

  • 1篇铸造技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
湿法腐蚀制备Si-TaSi_2场发射阴极阵列的工艺研究
2010年
阴极阵列形貌是影响场致发射材料发光性能的关键因素。以Czochralski(Cz)法制备的Si-TaSi2共晶复合材料为场发射阴极材料,采用湿法腐蚀制备Si基TaSi2尖锥型场发射阴极阵列。通过调整腐蚀液配比、腐蚀时间和腐蚀液温度,研究了不同腐蚀条件对Si基TaSi2尖锥形貌及阴极阵列制备的影响,获得了Si基TaSi2尖锥阴极阵列的最佳制备工艺,并对其场发射性能进行了测试。结果表明:在室温17℃,腐蚀液配比v(HF)∶v(HNO3)=1∶4,腐蚀时间15 min下得到了高长径比的TaSi2尖锥,阵列具有较好的场发射性能,开启场强为3.84 V/μm。
周飞张军苏海军刘林傅恒志
关键词：湿法腐蚀
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