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王劲松

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：兰州大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇等温吸附
  • 1篇等温吸附线
  • 1篇电容型湿度传...
  • 1篇湿度传感器
  • 1篇相对湿度
  • 1篇感器
  • 1篇RH
  • 1篇CMOS
  • 1篇CMOS工艺
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇兰州大学

作者

  • 1篇杨建红
  • 1篇王劲松
  • 1篇杨子健
  • 1篇韦波

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器被引量：1
2009年
设计了一种基于CMOS制造工艺的电容型湿度传感器,详细讲述了制作过程。通过引入平行板电容模型和水分子吸附模型研究了其工作机理,通过实验对其湿容特性、响应特性、湿滞等参数做了测试与分析。制作过程中的难点在于聚酰胺酸膜的亚胺化以及聚酰亚胺的光刻工艺。
韦波杨子健王劲松杨建红
关键词：湿度传感器CMOS工艺等温吸附线
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共1页<1>
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