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马天义

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国航天科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇扫描镜
  • 1篇子机
  • 1篇微光电子机械...
  • 1篇静电驱动
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇MOEMS

机构

  • 1篇中国航天科技...

作者

  • 1篇许敬
  • 1篇吴建东
  • 1篇马天义
  • 1篇余跃

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MOEMS 2D扫描镜的研究进展被引量：3
2016年
微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,并给出了典型产品及系统应用,总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状,并分析了与国外产品的差距。
马天义余跃许敬吴建东
关键词：微光电子机械系统扫描镜静电驱动
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