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周艳春

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇静电
  • 3篇功率器件
  • 3篇沟槽
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻胶
  • 3篇分次
  • 3篇半导体

机构

  • 3篇杭州士兰集成...

作者

  • 3篇王平
  • 3篇李云飞
  • 3篇夏志平
  • 3篇杨彦涛
  • 3篇周艳春

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2017
  • 1篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
沟槽功率器件
本实用新型揭示了一种沟槽功率器件。本实用新型提供的一种沟槽功率器件，通过在半导体衬底中形成第一沟槽，并将第一阻止层、填充材料层设置于所述第一沟槽中，形成静电隔离结构，进而实现了静电隔离结构设置在半导体衬底中，避免了静电隔...
杨彦涛王平夏志平李云飞周艳春
沟槽功率器件及制作方法
本发明揭示了一种沟槽功率器件及制作方法。本发明提供的一种沟槽功率器件及制作方法，通过在半导体衬底中形成第一沟槽，并将第一阻止层、填充材料层设置于所述第一沟槽中，形成静电隔离结构，进而实现了静电隔离结构设置在半导体衬底中，...
杨彦涛王平夏志平李云飞周艳春
文献传递
沟槽功率器件及制作方法
本发明揭示了一种沟槽功率器件及制作方法。本发明提供的一种沟槽功率器件及制作方法，通过在半导体衬底中形成第一沟槽，并将第一阻止层、填充材料层设置于所述第一沟槽中，形成静电隔离结构，进而实现了静电隔离结构设置在半导体衬底中，...
杨彦涛王平夏志平李云飞周艳春
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