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李俊豪

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇金刚石薄膜
  • 1篇色心
  • 1篇气源
  • 1篇热丝
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇温度计
  • 1篇内孔
  • 1篇截止波导
  • 1篇空位
  • 1篇冷却水
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇工件
  • 1篇功率
  • 1篇光电温度计
  • 1篇反应气体
  • 1篇硅
  • 1篇波导
  • 1篇掺杂

机构

  • 3篇中国科学院金...

作者

  • 3篇黄楠
  • 3篇杨兵
  • 3篇姜辛
  • 3篇李俊豪
  • 2篇刘鲁生

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2017
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
金刚石薄膜中硅-空位色心的制备--四甲基硅烷作为新掺杂气源
杨兵李俊豪黄楠姜辛
一种高功率大面积偏压微波等离子体金刚石薄膜沉积装置
本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种高功率大面积偏压微波等离子体金刚石薄膜沉积装置。该装置在密闭的壳体之间设置石英管，石英管一端外部设有依次连接的截止波导、波导、调配器、微波源，截止波导上设置冷却水出口；石英管另...
姜辛刘鲁生黄楠杨兵翟超峰李俊豪贾心怡
一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置
本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置。该装置设有密闭的反应腔体，反应腔体的一端设有气体喷淋头，气体喷淋头通过管路与外部气源连接，反应腔体的另一端设有抽真空系统和真空测...
姜辛刘鲁生黄楠杨兵翟超峰李俊豪贾心怡
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