周杰
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
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- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法
- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在Si/SiO<Sub>2</Sub>基片上镀上一层GeSbSe膜；2)将清洗后的基片上涂覆光刻胶并且制备出光刻胶掩膜；3)将带有光刻胶掩膜的基片在ICP刻...
- 张巍周杰韩金涛沈祥赵阳张森
- 文献传递
- 基于Ge-Sb-Se薄膜的硫系光波导制备工艺研究
- 2018年
- 通过传统熔融淬冷技术制备Ge28Sb12Se60硫系玻璃,并由热蒸发技术制备出Ge28Sb12Se60非晶态薄膜,利用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀机在不同刻蚀气体氛围下制备出Ge-Sb-Se硫系光波导.研究了不同刻蚀功率和不同刻蚀气体流量比等条件参数对制备所得Ge-Sb-Se波导表面形貌的影响,利用台阶仪测量其刻蚀速率,扫描电子显微镜(SEM)和扫描探针显微镜(SPM)测量波导形貌以及表面粗糙度.结果显示,对于相同组分材料的Ge-Sb-Se硫系薄膜,相比于CF4/O2刻蚀气体,CF4/CHF3混合刻蚀气体制备出的波导具有较低的表面粗糙度、较光滑的侧壁和较大的刻蚀选择比,1 550 nm处2μm宽波导传输损耗为(1.73±0.24)d B·cm-1.
- 周杰赵阳赵阳
- 关键词：硫系玻璃
- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法
- 一种改善波导侧壁的ICP刻蚀方法，其特征在于：包括以下步骤：1)在Si/SiO<Sub>2</Sub>基片上镀上一层GeSbSe膜；2)将清洗后的基片上涂覆光刻胶并且制备出光刻胶掩膜；3)将带有光刻胶掩膜的基片在ICP刻...
- 张巍周杰韩金涛沈祥赵阳张森
- 文献传递
- 国际资本流动对中国货币政策的影响研究
- 随着经济贸易全球化的发展,国际资本的流动范围和频度不断增强,这也为一国的经济发展和金融创新带来了机遇和挑战。中国作为一个庞大的新兴经济体国家而言更容易受到国际资本流动异常情况的影响,这个对于一个国家经济的稳定发展和金融安...
- 周杰
- 关键词：国际资本流动货币政策VAR模型
- N集团核心员工股权激励方案研究
- 伴随着知识经济时代的到来，我国企业的发展面临着新的机遇，同样也面临着挑战，如何对于关键的核心员工进行有效的激励则成为这些企业抓住机遇，应对挑战的关键。生产力、竞争力和经济得以增长的关键已经变成了知识，在一个企业里核心员工...
- 周杰
- 关键词：股权激励核心员工绩效评价
