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王锦程

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:杭州电子科技大学理学院材料物理研究所更多>>
发文基金:浙江省教育厅科研计划更多>>
相关领域:化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇氮氧化物
  • 1篇氧化物材料
  • 1篇栅介质
  • 1篇栅介质薄膜
  • 1篇介质
  • 1篇介质薄膜
  • 1篇高K材料

机构

  • 1篇杭州电子科技...

作者

  • 1篇王锦程
  • 1篇苏伟涛

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
多元高k氧化物材料的研究进展
2009年
近年来,多元高k氧化物材料一直是高k材料研究的热点。从材料结构以及物理性能研究方面对多元高k氧化物如多元稀土氧化物、多元过渡金属氧化物、稀土氧化物-过渡金属化合物的最新研究进行了总结。并对高k材料中最有应用潜力的氮氧化物和叠层栅的物理性能和研究状况进行了评述。
苏伟涛王锦程
关键词:栅介质薄膜高K材料氮氧化物
共1页<1>
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