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王锦程
作品数:
1
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供职机构:
杭州电子科技大学理学院材料物理研究所
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发文基金:
浙江省教育厅科研计划
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相关领域:
化学工程
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合作作者
苏伟涛
杭州电子科技大学理学院材料物理...
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杭州电子科技...
作者
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王锦程
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苏伟涛
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材料导报
年份
1篇
2009
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多元高k氧化物材料的研究进展
2009年
近年来,多元高k氧化物材料一直是高k材料研究的热点。从材料结构以及物理性能研究方面对多元高k氧化物如多元稀土氧化物、多元过渡金属氧化物、稀土氧化物-过渡金属化合物的最新研究进行了总结。并对高k材料中最有应用潜力的氮氧化物和叠层栅的物理性能和研究状况进行了评述。
苏伟涛
王锦程
关键词:
栅介质薄膜
高K材料
氮氧化物
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