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徐路

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电弧离子镀
  • 1篇性能研究
  • 1篇硬质
  • 1篇硬质膜
  • 1篇离子镀
  • 1篇非平衡磁控溅...
  • 1篇DLC
  • 1篇掺杂
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇深圳国家86...

作者

  • 1篇于大洋
  • 1篇张以忱
  • 1篇徐路

传媒

  • 1篇中国表面工程

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
非平衡磁控溅射结合电弧离子镀制备掺杂DLC硬质膜性能研究被引量：6
2006年
将非平衡磁控溅射和电弧离子镀工艺相结合,并使用霍尔离子源辅助,制备了过渡层为Cr、掺杂Ti和N的DLC薄膜。对DLC薄膜的表面形貌、内部结构、力学性能以及电学性能进行了分析测试,结果表明:膜层中含有sp2键和sp3键结构,硬度达到HV(20g)2600以上,摩擦因数接近0.1,电阻高于2MΩ。
于大洋马胜歌张以忱徐路
关键词：硬质膜DLC非平衡磁控溅射电弧离子镀
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共1页<1>
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