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惠唇
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
倪鹤南
绍兴文理学院
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
吴良才
中国科学院上海微系统与信息技术...
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电荷存储特性
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吴良才
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宋志棠
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倪鹤南
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惠唇
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年份
1篇
2012
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电子在镍纳米晶中的直接隧穿及其在MOS结构中的存储(英文)
被引量:1
2012年
研究了镍纳米晶镶嵌在 MOS(金属—氧化物—半导体)电容结构中应用于非挥发性存储器的可行性。制备了镶嵌在氧化层中的镍纳米晶。采用电子束蒸发方法,再经过快速退火工艺,得到平均尺寸 7 nm,密度 1.5×1012/cm2的镍纳米晶。电容随频率变化曲线发现明显的峰,测试分析了电容-电压和电导-电压特性。结果表明电子通过直接隧穿停留在镍纳米晶中,并且存储在 MOS 结构中。
倪鹤南
吴良才
宋志棠
惠唇
关键词:
MOS
电荷存储特性
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