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张勇

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇控制系统
  • 1篇CVD设备
  • 1篇LP
  • 1篇LPCVD
  • 1篇串级
  • 1篇串级控制

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇宋玲
  • 1篇廖炼斌
  • 1篇罗卫国
  • 1篇张勇

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
LPCVD设备的高精度串级温度控制系统被引量：5
2006年
在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。
宋玲廖炼斌张勇罗卫国
关键词：LPCVD串级控制温度控制
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共1页<1>
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