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张锐华
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
五邑大学应用物理与材料学院
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发文基金:
上海市教育委员会科技发展基金
国家高技术研究发展计划
广东省自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
黄洁芳
五邑大学应用物理与材料学院
李毅
上海理工大学光电信息与计算机工...
丁瑞钦
五邑大学应用物理与材料学院
朱慧群
五邑大学应用物理与材料学院
王忆
五邑大学应用物理与材料学院
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作者
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王忆
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朱慧群
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丁瑞钦
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李毅
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黄洁芳
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张锐华
传媒
1篇
人工晶体学报
年份
1篇
2012
共
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p-ZnO薄膜及其异质结的光电性质
被引量:4
2012年
采用射频磁控溅射法,在不同的Ar∶O2条件下,以高掺磷n型Si衬底为磷掺杂源制备了p型ZnO薄膜和p-ZnO/n-Si异质结。对ZnO∶P薄膜进行了光致发光谱(PL)、霍尔参数、I-V特性、扫描电镜(SEM)和X射线衍射谱(XRD)等测试。结果表明,获得的ZnO∶P薄膜沿(0002)晶面高取向生长,以3.33 eV近带边紫外发光为主,伴有2.69 eV附近的深能级绿色发光峰,空穴浓度为8.982×1017/cm3,空穴迁移率为9.595 cm2/V.s,p-ZnO/n-Si异质结I-V整流特性明显,表明ZnO∶P薄膜具有p型导电特性。
朱慧群
李毅
丁瑞钦
王忆
黄洁芳
张锐华
关键词:
磁控溅射
P型ZNO薄膜
磷掺杂
异质结
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