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王传博

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第五十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇离子注入

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇江月艳
  • 1篇贺琪
  • 1篇王传博

传媒

  • 1篇电子与封装

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
提高多晶电阻工艺稳定性被引量：1
2009年
文章通过对多晶薄膜的性质和多晶电阻形成工艺的稳定性研究,剖析在生产过程中三种形成多晶电阻主要工艺的波动情况,并对形成工艺波动的原因和控制方法进行了讨论。同时对于采取控制方法以后的多晶电阻的工艺情况进行分析,证明提高多晶电阻制造工艺稳定性必须提高多晶淀积和离子注入工艺能力,以及如何提高多晶淀积和离子注入的受控。最后对采取控制措施后的多晶电阻的改善效果进行回顾,说明离子注入工艺采取除气和多晶淀积隔片放置方式有效地提高了多晶电阻工艺的稳定性。
吴建伟江月艳贺琪王传博
关键词：离子注入
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