您的位置： 专家智库 > >

沈文江

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇偏转
  • 1篇背部

机构

  • 1篇上海大学

作者

  • 1篇徐闰
  • 1篇王婷婷
  • 1篇沈文江

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
增强MEMS微镜抗变能力的方法
本发明涉及一种增强MEMS微镜抗变能力的方法，属于微机电系统器件制造领域。本方法采用在微镜背部增加圆环结构的方法降低微镜振动时的动态变形，来保证微镜对光束的正常偏转。具有成本更低、系统更加简单、体积更加精巧、可操作性更强...
陈目语沈文江余晖俊王婷婷徐闰
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0