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肖华

作品数：1 被引量：17H指数：1
供职机构：桂林电子工业学院通信与信息工程系更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电特性
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射靶材
  • 1篇光电
  • 1篇光电特性
  • 1篇靶材
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射技术

机构

  • 1篇桂林电子工业...

作者

  • 1篇王华
  • 1篇任鸣放
  • 1篇肖华

传媒

  • 1篇液晶与显示

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于磁控溅射技术的ZAO透明导电薄膜及靶材的研究被引量：17
2006年
阐述用磁控溅射技术制备综合性能优良的ZAO透明导电薄膜及其靶材的发展现状和趋势。介绍了透明导电薄膜的基本性能及其存在的问题,进而重点阐述了ZAO薄膜的组织结构、导电机制和透光特性。由于其优良的光电特性(用掺杂Al2O3质量分数达3%的溅射靶材可制备电阻率达4.7×10-4Ω·cm、透射率超过90%的ZAO薄膜)而具有广泛的应用前景。并针对靶材的制备和利用磁控溅射技术制备ZAO透明导电薄膜过程中存在的问题及发展方向进行了分析讨论。
肖华王华任鸣放
关键词：磁控溅射溅射靶材光电特性
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