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黄敏
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
南京理工大学泰州科技学院
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发文基金:
南京大学固体微结构物理国家重点实验室开放课题基金
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
电子电信
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合作作者
曹燕
南京理工大学泰州科技学院
段欢
南京理工大学泰州科技学院
王友凤
南京理工大学泰州科技学院
孙正凤
南京理工大学泰州科技学院
李伟
南京大学物理学院固体微结构物理...
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南京大学
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作者
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董恒平
1篇
陈坤基
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孙正凤
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黄敏
1篇
王友凤
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段欢
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曹燕
传媒
1篇
材料导报
年份
1篇
2014
共
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非晶氮氧化硅薄膜中新发光缺陷态的研究
被引量:2
2014年
利用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法在室温下制备出非晶氮氧化硅(a-SiNxOy)薄膜。通过调节薄膜中的Si/N比例,可使其光致发光峰位在450-600nm的较宽波长范围内连续可调。对比a-SiNx薄膜和aSiNxOy薄膜的发光特性,发现此薄膜发光来源于由氧引入的新发光缺陷态。由光吸收谱的测量结果可以推断出此发光缺陷态在光吸收边之下约0.65eV处的禁带中。并且,通过傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)测量,证实了这种新发光缺陷态与薄膜中存在的O-Si-N键合结构有关。
董恒平
陈坤基
李伟
孙正凤
黄敏
段欢
曹燕
王友凤
关键词:
缺陷态
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