您的位置： 专家智库 > >

龚俊

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电磁
  • 1篇电磁场
  • 1篇溅射
  • 1篇磁场
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射靶

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇程文进
  • 1篇佘鹏程
  • 1篇陈立宁
  • 1篇龚俊
  • 1篇陈长平

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
矩形磁控溅射靶电磁场分析及优化被引量：1
2017年
对矩形溅射靶电磁场进行了仿真分析,优化设计,从而优化溅射靶表面电磁场分布,增大均匀沉膜区域范围,提高靶材利用率。
佘鹏程陈立宁程文进龚俊陈长平
关键词：磁控溅射电磁场
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0