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陈辉

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：上海交通大学微纳科学技术研究院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇电沉积
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇合金
  • 1篇NI
  • 1篇NI-W合金
  • 1篇MEMS
  • 1篇W
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇丁桂甫
  • 1篇汪红
  • 1篇毛胜平
  • 1篇刘瑞
  • 1篇汤俊
  • 1篇陈辉

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS中Ni-W合金薄膜力学性能的研究被引量：2
2009年
研究了柠檬酸胺—1—羟基乙烷二膦酸(HEDP)镀液体系中Ni-W的力学性能。通过紫外曝光的光刻、电铸和注塑(UV-LIGA)技术制备出微拉伸试样和单轴微拉伸测试系统进行拉伸试验。结果表明:在Ni-W薄膜试样尺寸为5μm×50μm×100μm条件下,其杨氏模量约为100.4 GPa,抗拉强度为1.96 GPa,应变约为3.6%。
刘瑞汪红汤俊毛胜平陈辉丁桂甫
关键词：微机电系统电沉积
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共1页<1>
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