刘晨
- 作品数：1 被引量：21H指数：1
- 供职机构：南开大学更多>>
- 发文基金：天津市应用基础与前沿技术研究计划国家重点基础研究发展计划天津市科技攻关项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 磁控溅射技术制备织构化表面Al掺杂ZnO薄膜被引量：21
- 2010年
- 以Zn-Al(Al:2wt.%)合金为溅射靶材,采用直流反应磁控溅射的方法,在普通玻璃衬底上制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜。通过对衬底温度的调制,在较高衬底温度下(～280℃),无需经过常规溅射后腐蚀工艺过程,即可获得表面形貌具有特征陷光结构的AZO薄膜,其表面呈现"类金字塔"状,粗糙度RMS=65.831nm。通过测试薄膜的结构特性、表面形貌及其光电性能,详细地研究了衬底温度对AZO薄膜性能的影响。X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)测试表明,所有样品均为多晶六角纤锌矿结构,薄膜呈(002)晶面择优生长,其表面形貌随衬底温度的不同而改变。衬底温度为200℃及其以上工艺条件下获得的AZO薄膜,在可见光及近红外范围的平均透过率大于90%,电阻率优于1.5×10-3Ωcm。
- 李林娜陈新亮刘晨孙建耿新华赵颖
- 关键词：ZNO磁控溅射衬底温度太阳电池
