杨杰
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 在线等离子清洗在IC封装行业中的应用
- 2013年
- 集成电路封装工艺中,芯片表面的氧化物等污染物会降低产品质量。在封装工艺过程中,引线键合工艺之前对引线框架进行等离子清洗,可以有效清除这些杂质,提高产品成品率和质量。针对此,主要介绍了在线等离子清洗设备的工艺,结构和市场前景。
- 杨杰范新丽
- 关键词：等离子清洗引线框架集成电路封装
- 金刚石多线切割在半导体行业中的应用
- 2013年
- 良好的切割方法对半导体材料的品质有非常关键的作用。多线切割技术是目前世界上最先进的切片加工技术,工作效率高,一次加工可以切割多片,并且可以达到一定的薄度。针对此,主要介绍了金刚石多线切割设备的结构,工艺流程和关键技术。
- 范新丽杨杰
- 关键词：金刚石半导体
