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冯辰

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国矿业大学机电工程学院更多>>
发文基金：江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目江苏省自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微摩擦
  • 1篇磨损
  • 1篇摩擦副
  • 1篇分辨力
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇中国矿业大学

作者

  • 1篇刘同冈
  • 1篇赵志强
  • 1篇冯辰

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展被引量：3
2016年
相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键。针对开展MEMS微观摩擦磨损研究的需要,概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器,包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(FFM)等探针类实验装置以及球-盘式、销-盘式、针-盘式和微轴承式摩擦副的微摩擦磨损实验装置,着重介绍了它们的工作原理和适用对象。并根据MEMS技术的发展现状,对微观摩擦磨损实验仪器的发展趋势进行了展望。
冯辰刘同冈商金玮赵志强
关键词：摩擦副分辨力
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共1页<1>
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