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陈超

作品数：2 被引量：8H指数：1
供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇电感测微仪
  • 1篇压电
  • 1篇压电陶瓷
  • 1篇伸缩量
  • 1篇微驱动
  • 1篇纳米
  • 1篇MEMS
  • 1篇测试系统
  • 1篇测微仪

机构

  • 2篇浙江大学

作者

  • 2篇章海军
  • 2篇陈超
  • 1篇张冬仙
  • 1篇何玉琳
  • 1篇刘超

传媒

  • 1篇中国机械工程
  • 1篇光学仪器

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
压电陶瓷微纳米伸缩量测试系统被引量：7
2007年
介绍了一种压电陶瓷的微纳米伸缩量的测试系统。该系统是通过调节加在陶瓷管内外管壁上的电压变化来实现陶瓷管的伸缩,其驱动电压由计算机编程并经过D/A转换后输出,再依次通过低压和高压放大后加在陶瓷管壁上。压电陶瓷的伸缩量则由电感测微仪进行测定。实验结果表明,利用该系统可以很方便地测量压电陶瓷管的伸缩,其伸缩量随着电压的变化而变化,但并非成简单的线性关系,而是呈一条曲线。
陈超何玉琳章海军
关键词：压电陶瓷伸缩量电感测微仪
微型光热驱动机构及其显微运动测量研究被引量：1
2009年
提出微型光热驱动机构（PTMA）及其显微运动测量的新方法，设计与微加工制作一种长度为1．5mm的非对称型PTMA，并开展光热驱动的实验研究。利用该测量方法，在波长为650nm、功率为9mW的半导体激光控制下，对PTMA的振幅与频率等显微运动特性进行测量和分析，测得最大振幅为10．3μm，理想响应频率范围为0～7Hz，并绘制出其运动轨迹。研究结果表明，这类新型PTMA可在激光操控下产生不同振幅（位移）、不同频率（速度）的微运动，为机电系统提供了一种新的微驱动方法。
陈超张冬仙刘超章海军
关键词：微驱动MEMS
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