王威
- 作品数：2 被引量：9H指数：2
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- 关于TFT-LCD工艺过程中ESD改善的研究被引量：5
- 2006年
- 在显示器件薄膜晶体管(thinfilmtransistor,TFT)以及半导体制造工艺过程中,各个环节都有可能产生静电放电(electrostaticdischarge,ESD)现象,引起器件性能下降,甚至破坏器件。本文结合生产工艺的实际情况,采用统计方法首先对某工艺环节的ESD现象进行定位,在此基础上结合聚焦离子束(focusionbond,FIB)等试验结果,对其机理进行认真的分析研究,从设计和工艺改善两个方面出发,提出解决方案,收到了良好的改善效果,取得巨大的经济效益。
- 彭志龙王威
- 关键词：静电放电聚焦离子束
- TFT-LCD工艺与静电击穿被引量：7
- 2007年
- 薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay,TFT-LCD)的制造工艺是一个复杂的过程,各个环节都可能发生静电击穿(electrostaticdischarge,ESD)现象,导致TFT-LCD器件被破坏,极大地影响了良品率。本文根据薄膜晶体管(TFT)生产工艺的实际情况,阐述了产线里各类产品型号的ESD发生状况。在此基础上,对各种设计、工艺过程和工艺参数对ESD造成的影响进行了分析研究,为实际的生产提供了指导作用。
- 李欣欣龙春平王威
- 关键词：薄膜晶体管液晶显示器电场强度
