陈晖
- 作品数：4 被引量：16H指数：3
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金上海市科委科研计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响被引量：1
- 2010年
- 利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时,进行对流—扩散传质过程数值模拟,研究不同深宽比微结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时,渗透流影响镀层基本形貌,回流会引起镀层形貌的微小起伏。
- 陈晖李光杨汪红王艳丁桂甫赵小林
- 关键词：微电铸
- 单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试的系统集成被引量：7
- 2010年
- 为了对微米尺度薄膜材料的力学性能进行测试,开发了一套成本较低的单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统。首先,根据有限元模拟优化设计测试样片,使其能够易于夹持、准确对中,以利于应力和应变的测量。接着采用三维非硅UV-LIGA微加工技术制备了Ni薄膜样片。根据单轴拉伸测试过程和硬件构成,以Visual Basic为平台编译了一套数据采集与分析系统。最后,应用该测试系统完成对电镀Ni薄膜材料性能的测试。实验结果表明,该系统能够精确测试试样应变,精度达到0.01μm,拉伸力精度达到mN级。得到的电镀Ni薄膜材料的杨氏模量约为94.5 GPa,抗拉强度约为1.76 GPa。该系统基本满足微米尺度材料单轴微拉伸力学性能测试的需要。
- 汪红汤俊刘瑞陈晖丁桂甫
- 关键词：微机电系统有限元模拟UV-LIGA杨氏模量镍
- 微结构掩膜电铸均匀性研究
- 随着微机电系统（MEMS）技术的发展，各种微系统与传感器不断涌现，并在实际应用中占据重要地位。其中，微加工技术是MEMS器件从设计转化为产品过程中最重要的环节，是MEMS技术的关键和基础。利用X射线深层光刻、微电铸、微复...
- 陈晖
- 关键词：有限元模拟
- 文献传递
- 水平与垂直流动对微电铸镀层均匀性的影响被引量：4
- 2011年
- 利用有限元分析软件FLUENT对微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传递成为金属沉积的控制步骤时,进行铸层均匀性的数值模拟,研究不同流动方式对均匀性的影响。模拟结果表明:当物质传递成为控制步骤时,增强对流—扩散虽然有利于物质传输,但均匀搅拌更有利于镀层均匀性;垂直流动相对于水平流动因离子到达阴极表面各处的传质阻力相同,故能有效改善镀层形貌的均匀性。
- 陈晖汪红李光杨姚锦元王艳丁桂甫
- 关键词：微电铸
