2025年11月8日
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韩香广
作品数:
69
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西安交通大学
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自动化与计算机技术
文化科学
经济管理
电气工程
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合作作者
赵立波
西安交通大学机械工程学院机械制...
蒋庄德
西安交通大学机械工程学院机械制...
杨萍
西安交通大学
李支康
西安交通大学
王久洪
西安交通大学
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韩香广
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2020
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2019
1篇
2013
1篇
2012
共
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一种基于自动学习和集成学习的静电形成纳米线半导体VOCs识别方法
本发明公开了一种基于自动学习和集成学习的静电形成纳米线半导体VOCs识别方法,识别方法包括如下过程:获取第一数据集或第二数据集,其中,第一数据集包括待检测VOCs通过静电形成纳米线前后的背栅阈值电压偏移量、背栅亚阈值摆动...
赵立波
杨晓凯
韩香广
夏勇
李敏
贾琛
杨萍
林启敬
蒋庄德
一种基于倒装芯片的温度压力集成传感器及其封装方法
本发明公开了一种基于倒装芯片的温度压力集成传感器及其封装方法,该传感器包括压力芯片、温度芯片、陶瓷PCB板、信号调理电路板、可伐引脚、封接玻璃、基座和环氧胶;压力芯片和温度芯片正面设置有金属焊盘,背面为压力和温度敏感面;...
赵立波
王李
韩香广
李支康
邱煜祥
皇咪咪
陈翠兰
李学琛
杨萍
王鸿雁
王永录
吴永顺
魏于昆
山涛
蒋庄德
文献传递
一种灵敏度放大的应变片及传感器弹性体应力检测方法
本发明公开了一种灵敏度放大的应变片及传感器弹性体应力检测方法,属于传感器技术领域,包括敏感部分,所述敏感部分外侧连接有刚性支撑;所述敏感部分包括自下至上依次设置的基底、压阻和电极组件,所述压阻包括四个敏感栅,每个敏感栅两...
赵立波
冯立强
韩香广
单王珍
刘元
高静
谭仁杰
夏勇
贾琛
王久洪
杨萍
管路集成式姿控火箭发动机推力的测试结构及其工作方法
本发明公开了管路集成式姿控火箭发动机推力的测试结构及其工作方法,属于传感测控技术领域,该测试结构由前定架、后定架、后动架、中层动架、前动架、直连接梁、前端斜连接梁、推进剂供应管路、后端斜连接梁、敏感梁、薄膜传感器以及支撑...
赵立波
赵阳
韩香广
夏勇
贾琛
单王珍
高静
寇鑫
刘元
冯立强
一种斜面限幅可调频压电悬臂梁微型振动能量收集器及其工作方法
本发明公开了一种斜面限幅可调频压电悬臂梁微型振动能量收集器及其工作方法,压电谐振器设置于封装外壳内,封装外壳设置于PCB底板上;压电悬臂梁一端固支于封装外壳上,压电悬臂梁由端与质量块底边内侧中部连接;封装外壳内腔在质量块...
王路
王骞
前田龙太郎
费振轩
段从升
张俊龙
赵立波
韩香广
蒋庄德
一种超低频多方向压电振动能量收集器及能量收集方法
本发明公开了一种超低频多方向压电振动能量收集器及能量收集方法,能量收集器包括外壳、质量球和若干压电悬臂梁,若干压电悬臂梁的固支端与外壳侧壁连接,若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置,若干压电悬臂梁的自由端向外壳的中心延伸,...
王路
赵立波
韩香广
费振轩
王骞
陈瑶
罗国希
卢德江
李支康
李敏
杨萍
王永录
王久洪
蒋庄德
一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种双H型受压梁硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法,传感器芯片包括谐振层和承压膜片,谐振层包括谐振梁和平衡梁,四根谐振梁组成一组H型梁,H型梁共有两组且对称设置,谐振梁端部均固定在平衡梁上,两根平衡梁通过谐振...
赵立波
韩香广
李雪娇
郭鑫
皇咪咪
卢德江
王久洪
赵玉龙
蒋庄德
文献传递
用于寒冷环境水压测量的抗结冻过载充油式芯体封装结构
本发明公开了一种用于寒冷环境水压测量的抗结冻过载充油式芯体封装结构,包括封装管壳和排冰盖板,封装管壳内设置有限位梁和可伐基座,封装管壳的上端盖合有波纹片,所纹片、封装管壳侧壁和限位梁形成第一腔体,可伐基座、限位梁和封装管...
王久洪
王圣旗
韩香广
乔智霞
赵立波
皇咪咪
高漪
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一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法
本发明公开了一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法,子单元为一轴对称结构,第一支撑梁的一端与芯片外框连接,第一支撑梁的另一端与第一质量块一端的中部连接,第一质量块的另一端与第二质量块的一...
夏勇
王延斌
赵立波
于明智
卢德江
贾琛
韩香广
李支康
林启敬
杨萍
蒋庄德
MEMS高精度微纳牛顿力传感器技术研究进展
2025年
微纳牛顿力传感技术在微纳材料及生物细胞力学测量与力控微纳操作领域具有重要作用,基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)的力传感器具有微型化、灵敏度高、低成本且便于批量制造等优势,已成为微尺度力学传感的主流技术。基于此,从传感原理、材料合成、敏感结构设计、信号处理等方面总结当前MEMS高精度力传感器技术研究进展,分析当前MEMS高精度力传感器性能特点,探讨MEMS高精度力传感器在性能提升、尺寸微型化与集成方面面临的挑战,展望MEMS高精度力传感器未来发展趋势。
孙贝贝
杨宇杰
白云飞
崔文骥
刘德华
韩香广
韩香广
谭仁杰
王路
张芷岚
李伯阳
吴涛
卢德江
高文迪
杨萍
关键词:
MEMS传感器
生物细胞
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