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文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇电子电信

主题

  • 6篇硅基
  • 5篇红外
  • 5篇长波
  • 5篇长波红外
  • 4篇波导
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇热氧化
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀速率
  • 2篇集成光学
  • 2篇光波
  • 2篇光波导器件
  • 2篇光学
  • 2篇波导结
  • 2篇波导结构
  • 2篇波导器件
  • 1篇低损耗
  • 1篇电器件
  • 1篇电子学
  • 1篇偏振

机构

  • 6篇浙江大学

作者

  • 6篇李国熠
  • 5篇魏玉欣
  • 5篇杨建义
  • 5篇王明华
  • 3篇江晓清
  • 3篇周强
  • 2篇周强

传媒

  • 1篇光子学报
  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2012
  • 4篇2011
  • 1篇2010
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
硅基长波红外光波导器件的研究
21世纪的第一个十年里,人们对大容量、高速互联网的需求极大地推动了光通信技术——特别是全光通信的发展,而作为FTTH( Fiber To The Home)中重要节点的WDM(Wavelength Division Mu...
李国熠
关键词:光电器件集成光学光电子学
文献传递
一种硅基长波红外光波导及其制备方法
本发明公开了一种硅基长波红外光波导及其制备方法,本发明是在普通硅片上制备出波导结构,再通过热氧化法制备出二氧化硅掩膜,然后进行二次光刻,在波导的两侧开出窗口,KOH溶液进行湿法腐蚀,通过选择合适的浓度及温度实现不同晶面的...
李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
基于slot波导的硅基长波红外偏振无关定向耦合器分析
本文在介绍了硅基长波长光波导器件的基础上,根据等比例放大原理分析和设计了适合与10.6微米的硅基slot波导,以及构成偏振无关定向耦合器件的性能。
李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
基于slot波导的硅基长波红外偏振无关定向耦合器分析被引量:3
2011年
硅基长波红外集成光电子器件是集成光学发展的一个新兴领域.阐述了利用等比例放大原理设计该波段下的slot波导的思路,分析了波导的限制因子、偏振特性等性质,并提出了工作波长为10.6μm的偏振无关slot波导定向耦合器.
李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
一种硅基长波红外光波导及其制备方法
本发明公开了一种硅基长波红外光波导及其制备方法,本发明是在普通硅片上制备出波导结构,再通过热氧化法制备出二氧化硅掩膜,然后进行二次光刻,在波导的两侧开出窗口,KOH溶液进行湿法腐蚀,通过选择合适的浓度及温度实现不同晶面的...
李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
文献传递
中长波红外光波导器件发展现状
2011年
阐述了中长波红外光波导器件的设计理念和用途。在介绍该领域的研究成果和最新进展的基础上,以应用在波长为10.6μm的硅基光波导器件为例介绍了实现低损耗波导的方法。
李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
关键词:低损耗光波导器件硅基集成光学
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