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李文杰

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇压力传感器
  • 4篇力传感器
  • 4篇工艺过程
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇排风
  • 3篇排风系统
  • 3篇气流场
  • 3篇风系统
  • 3篇差压
  • 2篇调节阀
  • 2篇液滴
  • 2篇实时检测
  • 2篇实时控制
  • 2篇气动
  • 2篇气动阀
  • 2篇晶片
  • 2篇控制装置
  • 2篇报警

机构

  • 8篇北京七星华创...

作者

  • 8篇马嘉
  • 8篇李文杰
  • 4篇吴仪
  • 3篇王超

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 3篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
一种工艺腔室排风系统及排风方法
本发明提供一种工艺腔室排风系统及排风方法,该排风系统包括，至少一套排风单元、主排风管道和控制器；所述排风单元包括工艺腔室、排风支管、调节阀、电机和差压计；所述调节阀安装在排风支管内；所述控制器与差压计、电机相连接，电机与...
马嘉吴仪王超李文杰
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一种二级串联泵速度的控制装置及方法
本发明公开了串联泵控制技术领域中的一种二级串联泵速度的控制装置及方法。PLC将一半的设定压力值和压力传感器检测到的一半的实际压力值发送到所述主动泵使主动泵转动；将所述主动泵转动的速度作为所述从动泵的设定速度驱动从动泵转动...
马嘉李文杰
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一种CDS循环系统气动阀检测方法
本发明公开了阀门控制技术领域中的一种CDS循环系统气动阀检测方法。本发明通过PLC实时检测第一压力传感器、第二压力传感器和泵的数值；当第一压力传感器的数值变化超出第一设定范围、第二压力传感器的数值变化超出第二设定范围或泵...
李文杰马嘉
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一种二级串联泵速度的控制装置及方法
本发明公开了串联泵控制技术领域中的一种二级串联泵速度的控制装置及方法。PLC将一半的设定压力值和压力传感器检测到的一半的实际压力值发送到所述主动泵使主动泵转动；将所述主动泵转动的速度作为所述从动泵的设定速度驱动从动泵转动...
马嘉李文杰
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一种工艺腔室排风系统及排风方法
本发明提供一种工艺腔室排风系统及排风方法,该排风系统包括，至少一套排风单元、主排风管道和控制器；所述排风单元包括工艺腔室、排风支管、调节阀、电机和差压计；所述调节阀安装在排风支管内；所述控制器与差压计、电机相连接，电机与...
马嘉吴仪王超李文杰
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一种CDS循环系统气动阀检测方法
本发明公开了阀门控制技术领域中的一种CDS循环系统气动阀检测方法。本发明通过PLC实时检测第一压力传感器、第二压力传感器和泵的数值；当第一压力传感器的数值变化超出第一设定范围、第二压力传感器的数值变化超出第二设定范围或泵...
李文杰马嘉
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一种工艺腔室排风系统
本实用新型提供一种工艺腔室排风系统，该排风系统包括，至少一套排风单元、主排风管道和控制器；所述排风单元包括工艺腔室、排风支管、调节阀、电机和差压计；所述调节阀安装在排风支管内；所述控制器与差压计、电机相连接，电机与调节阀...
马嘉吴仪王超李文杰
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单晶片清洗设备化学药液温度控制系统研制
2013年
针对300 mm单晶片清洗设备,设计开发了一套化学药液温度控制系统。由于化学药液传输系统具有大惯性、大时滞、非线性的特点,采用Smith预估法设计了一种温度控制算法;并基于可编程计算机控制器(PCC)设计实现了化学药液温度控制系统。介绍了该控制系统的硬件组成和控制算法设计,实验结果表明该温度控制系统能够满足清洗工艺需求。该系统现已成功应用于自主研发的300 mm、65 nm铜互连单片清洗设备。
马嘉吴仪王锐廷李文杰
关键词：温度控制
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