朱波
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 中频波面的旋转平移法干涉绝对检验被引量：2
- 2013年
- 基于Zernike多项式拟合的传统干涉绝对检验方法由于平滑了波面和丢失了中频成分,仅可以实现面形误差的绝对检验。本文提出利用旋转平移法来实现中频波面的干涉绝对检验。将被测波面分解成旋转对称成分和旋转非对称成分,通过N次旋转被测件,求解波面中的旋转非对称成分;通过平移被测件实现伪剪切,求解波面中的旋转对称成分。与传统绝对检验方法相比,该方法既能够恢复整个波面,又不需要对整个波面进行Zernike多项式拟合;由于仅对旋转对称成分用偶次多项式进行提取,提升了计算速度,降低了拟合误差,保留了中频成分,数值仿真显示其比传统方法优越,测量精度可达到1nm rms。在ZYGO干涉仪上完成了平面元件的干涉绝对检验测量。采用改变伪剪切比和更换标准镜两种方案,分别实现了实验数据的自比对;将测试结果与经典三面互检法得到的水平和垂直方向的一维轮廓数据进行比对,验证了旋转平移法的准确性。
- 袁群高志山张聪旸成金龙朱波
- 关键词：干涉术波纹度平移
- 基于旋转平移的干涉绝对检验
- 提出了一种旋转平移方法，实现平面和球面的干涉绝对检验。被测件面形被分解成旋转对称成分和旋转非对称成分。通过N次旋转被测件，求解面形中的旋转非对称成分；通过平移被测件实现伪剪切，求解面形中的旋转对称成分。与三面互检法相比，...
- 袁群高志山张聪旸成金龙朱波
- 关键词：平移
- 多通道型红外干涉检测光路
- 采用斐索式干涉主光路结构,光路设计中主要采用反射式元件,透射元件采用红外宽工作波段的锗材料和硒化锌材料设计加工。扩束镜在3.39μm、4.4μm、10.6μm三个波段下的焦距变化值仅为0.4mm,对成像透镜锗材料和硒化锌...
- 袁群高志山朱波成金龙
- 文献传递
