杨永亮
- 作品数：7 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 纳米尺度下界面陷阱产生的巨压阻及其制作方法
- 本发明涉及纳米尺度下界面陷阱作用产生的巨压阻效应以及纳米巨压阻的制作方法，属于微电子机械系统领域。本发明所述巨压阻的具体特征是压阻的厚度在纳米量级，压阻效应来源于硅和二氧化硅处界面的电子陷阱效应。传统体硅的压阻效应来源于...
- 杨永亮李昕欣
- 文献传递
- 几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究被引量：5
- 2007年
- 特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构.提出了几种基于MEMS技术的纳米梁制作方法,通过利用MEMS技术中材料与工艺的特性实现单晶硅纳米梁的制作.在普通(111)硅片上,利用各向异性湿法腐蚀对(111)面腐蚀速率极低的特性,通过干法与湿法腐蚀相结合制成厚度在100nm以下的纳米梁.该方法不使用SOI硅片,有效控制了成本.在(100)SOI硅片上,通过氧化减薄的方法得到厚度在100nm以下的多种纳米梁,由于热氧化的精度高,一致性好,该方法重复性与一致性均较好.在(110)SOI硅片上,利用硅的各向异性腐蚀特性以及(110)硅片的晶向特点,制作宽度在100nm以下的纳米梁,梁的两个侧面是(111)面.
- 许科峰于海涛杨永亮杨恒李昕欣王跃林
- 关键词：MEMS各向异性腐蚀硅
- 一种非谐振非接触式的振动能量采集器
- 本发明涉及一种非谐振非接触式的振动能量采集器，其特征在于所述的能量采集器由感应外界振动的质量块和产生电能的弹簧发电系统组成。质量块感应外界振动，通过质量块与弹簧发电系统之间的排斥力将能量传递给弹簧，驱动弹簧振动，通过电磁...
- 李昕欣杨永亮
- 一种湿法腐蚀制作集成压阻SiO<Sub>2</Sub>悬臂梁的方法
- 本发明涉及一种使用湿法腐蚀在硅片单面低成本制作集成压阻二氧化硅悬臂梁的方法，属于硅微机械制造技术领域。具体特征是使用四甲基氢氧化铵水溶液通过各向异性腐蚀释放二氧化硅悬臂梁结构，并且使用钛金铬三层复合金属作为引线，与硅压阻...
- 李昕欣陈滢杨永亮
- 文献传递
- 纳米尺度下界面陷阱产生的巨压阻及其制作方法
- 本发明涉及纳米尺度下界面陷阱作用产生的巨压阻效应以及纳米巨压阻的制作方法，属于微电子机械系统领域。本发明所述巨压阻的具体特征是压阻的厚度在纳米量级，压阻效应来源于硅和二氧化硅处界面的电子陷阱效应。传统体硅的压阻效应来源于...
- 杨永亮李昕欣
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- 一种非谐振非接触式的振动能量采集器
- 本发明涉及一种非谐振非接触式的振动能量采集器，其特征在于所述的能量采集器由感应外界振动的质量块和产生电能的弹簧发电系统组成。质量块感应外界振动，通过质量块与弹簧发电系统之间的排斥力将能量传递给弹簧，驱动弹簧振动，通过电磁...
- 李昕欣杨永亮
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- 一种湿法腐蚀制作集成压阻SiO<Sub>2</Sub>悬臂梁的方法
- 本发明涉及一种使用湿法腐蚀在硅片单面低成本制作集成压阻二氧化硅悬臂梁的方法，属于硅微机械制造技术领域。具体特征是使用四甲基氢氧化铵水溶液通过各向异性腐蚀释放二氧化硅悬臂梁结构，并且使用钛金铬三层复合金属作为引线，与硅压阻...
- 李昕欣陈滢杨永亮
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