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王煜

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇SU-8光刻...
  • 1篇SU-8胶

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇王煜
  • 1篇陈莉
  • 1篇杜立群
  • 1篇王启佳

传媒

  • 1篇大连理工大学...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究被引量：5
2010年
利用超声时效技术减小聚合物SU-8光刻胶的内应力,讨论了其机理.以基片曲率法为基础,建立了轮廓法测量SU-8胶层内应力的计算模型.实验研究了超声时效技术在减小聚合物SU-8胶层内应力方面的作用.对比分析了超声时效实验前、后SU-8胶层的内应力值.实验结果显示,在超声时效10min时,聚合物SU-8胶内应力减小2MPa,消除率约为23.17%.这表明,在合适的实验参数下利用超声时效技术可以有效减小聚合物SU-8胶内应力.
杜立群王煜王启佳陈莉
关键词：SU-8光刻胶
SU-8光刻胶超声时效的实验研究
随着MEMS/(微电子机械系统/)技术的迅速发展,基于SU-8胶的UV-LIGA技术得到了广泛的应用。SU-8光刻胶已成为制作高深宽比结构的首选光刻胶。然而SU-8胶在工艺过程中会产生较大的内应力,这个问题是制约用SU-...
王煜
关键词：SU-8胶
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