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多层衍射光学元件偏心误差分析方法: 多层衍射光学元件偏心误差分析方法属于光学设计技术领域。在现有技术中还没有一种科学、可靠的偏心误差对衍射效率的影响的分析方法。本发明之多层衍射光学元件偏心误差分析方法包括以下四个步骤：1、根据多层衍射光学元件位相延迟表达式...; 薛常喜高龙; 文献传递

偏心误差对长波红外波段多层衍射光学元件衍射效率的影响被引量：9: 2015年; 基于衍射光学元件的相位延迟和衍射效率表达式,推导出了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率表达式。建立了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率的数学模型,分析了偏心误差对多层衍射光学元件衍射效率及多色光积分衍射效率的影响。以在8-12μm波段内的硫化锌（Zn S）和锗（Ge）为基底材料构成的多层衍射光学元件为例,其设计波长对为8.79μm、11.11μm,构成多层衍射光学元件的两层谐衍射元件微结构高度为78.3391μm、34.6076μm,当多层衍射光学元件的环带宽度分别为500μm和1000μm时,其衍射效率达到95%以上时,偏心误差须分别控制在5.8μm和11.17μm以内。该含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率分析模型对于多层衍射光学元件的设计与加工具有重要意义。; 高龙薛常喜杨红芳聂鑫; 关键词：光学器件红外波段衍射效率偏心误差

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高龙