许科峰
- 作品数：6 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法
- 本发明涉及一种在SOI硅片上纳米宽度谐振结构及制作方法，其特征在于巧妙利用了(110)晶向硅片的各向异性湿法腐蚀特性，通过精确控制光刻掩模图形与(112)晶向间夹角，利用各向异性湿法腐蚀会自动校准晶向、同时结合腐蚀液对(...
- 杨恒许科峰李铁焦继伟李昕欣王跃林
- 文献传递
- 用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法
- 本发明涉及一种用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法，其特征在于利用(100)晶向硅材料各向异性腐蚀特性，纳米梁形成后腐蚀即自动停止；形成梁的横截面为直角三角形，所述直角三角形的斜而为(111)面，侧面是(1...
- 许科峰杨恒王跃林
- 文献传递
- 几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究被引量：5
- 2007年
- 特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构.提出了几种基于MEMS技术的纳米梁制作方法,通过利用MEMS技术中材料与工艺的特性实现单晶硅纳米梁的制作.在普通(111)硅片上,利用各向异性湿法腐蚀对(111)面腐蚀速率极低的特性,通过干法与湿法腐蚀相结合制成厚度在100nm以下的纳米梁.该方法不使用SOI硅片,有效控制了成本.在(100)SOI硅片上,通过氧化减薄的方法得到厚度在100nm以下的多种纳米梁,由于热氧化的精度高,一致性好,该方法重复性与一致性均较好.在(110)SOI硅片上,利用硅的各向异性腐蚀特性以及(110)硅片的晶向特点,制作宽度在100nm以下的纳米梁,梁的两个侧面是(111)面.
- 许科峰于海涛杨永亮杨恒李昕欣王跃林
- 关键词：MEMS各向异性腐蚀硅
- 纳米谐振器结构的加工技术研究
- 特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构。本文研究了几种基于MEMS技术的纳米梁的制造技术，利用MEMS技术中材料和工艺的特性实现了单晶硅纳米梁的制作。并且，在此基础上制成了谐振结构，用光学的方法测试了其Q值...
- 许科峰
- 关键词：梁结构单晶硅各向异性
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- 用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法
- 本发明涉及一种用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法，其特征在于利用(100)晶向硅材料各向异性腐蚀特性，纳米梁形成后腐蚀即自动停止；形成梁的横截面为直角三角形，所述直角三角形的斜而为(111)面，侧面是(1...
- 许科峰杨恒王跃林
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- 在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法
- 本发明涉及一种在SOI硅片上纳米宽度谐振结构及制作方法，其特征在于巧妙利用了(110)晶向硅片的各向异性湿法腐蚀特性，通过精确控制光刻掩模图形与(112)晶向间夹角，利用各向异性湿法腐蚀会自动校准晶向、同时结合腐蚀液对(...
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