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翟超

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：中北大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 4篇低维纳米
  • 4篇低维纳米结构
  • 4篇电场
  • 4篇圆片
  • 4篇圆片级
  • 4篇自聚焦
  • 4篇纳米
  • 4篇静电
  • 4篇静电场
  • 2篇奇点
  • 2篇刻蚀
  • 2篇刻蚀工艺
  • 2篇光电
  • 2篇光电子
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻工艺
  • 1篇弹性模量
  • 1篇热膨胀
  • 1篇热膨胀系数
  • 1篇自组装

机构

  • 5篇中北大学

作者

  • 5篇翟超
  • 4篇唐军
  • 4篇温焕飞
  • 4篇薛晨阳
  • 4篇张文栋
  • 4篇柴鹏兰
  • 4篇石云波
  • 4篇刘俊

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于静电场奇点自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法
本发明涉及低维纳米结构的制备方法，解决了现有有序低维纳米结构只能小面积制造且成本高、污染严重的问题。基于静电场奇点自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法包括如下步骤：首先在圆片级硅片衬底上通过光刻和刻蚀工艺得到低维纳米结构...
刘俊唐军石云波薛晨阳张文栋柴鹏兰翟超温焕飞
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基于静电场自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法
本发明涉及纳米结构的制备方法，具体为一种基于静电场自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法，解决了现有有序低维纳米结构只能小面积制造、成本高、污染严重且与传统的MEMS加工工艺兼容性差的问题。基于静电场自聚焦的圆片级低维纳米...
唐军刘俊石云波薛晨阳张文栋翟超柴鹏兰温焕飞
文献传递
基于静电场自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法
本发明涉及纳米结构的制备方法，具体为一种基于静电场自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法，解决了现有有序低维纳米结构只能小面积制造、成本高、污染严重且与传统的MEMS加工工艺兼容性差的问题。基于静电场自聚焦的圆片级低维纳米...
唐军刘俊石云波薛晨阳张文栋翟超柴鹏兰温焕飞
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基于静电场奇点自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法
本发明涉及低维纳米结构的制备方法，解决了现有有序低维纳米结构只能小面积制造且成本高、污染严重的问题。基于静电场奇点自聚焦的圆片级低维纳米结构的制备方法包括如下步骤：首先在圆片级硅片衬底上通过光刻和刻蚀工艺得到低维纳米结构...
刘俊唐军石云波薛晨阳张文栋柴鹏兰翟超温焕飞
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大面积有序纳米结构制备技术
本论文以有序纳米结构在高灵敏度生化传感领域的广泛应用为背景,针对目前纳米颗粒薄膜及其有序结构自组装的大面积、低成本、可控制造等技术瓶颈,以银为示例材料,在本实验室成员已有研究的基础上,对大面积有序纳米结构可控制备方法和工...
翟超
关键词：弹性模量热膨胀系数表面处理
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