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杨革
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2
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供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
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合作作者
严康宁
电子科技大学
曲喜新
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传媒
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1993
1篇
1992
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ZnO/ALN复合压电薄膜的研制
杨革
ZnO/AlN复合压电薄膜的研制
1993年
各种超高频电子整机需要高性能的表声波压电器件。介绍了新的压电薄膜——ZnO/AIN复合压电薄膜的制速、结构和性能,并给出主要研制结果。
曲喜新
杨革
严康宁
关键词:
压电薄膜
磁控溅射
压电材料
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