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王鹏

作品数：18 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 6篇钛酸铅
  • 6篇锆钛酸铅
  • 4篇波导
  • 3篇电极
  • 3篇电路
  • 3篇氧化硅
  • 3篇微环
  • 3篇埋氧层
  • 3篇光电
  • 2篇电池
  • 2篇深刻蚀
  • 2篇收发
  • 2篇太阳电池
  • 2篇退火
  • 2篇耦合器
  • 2篇芯片
  • 2篇刻蚀
  • 2篇溅射
  • 2篇光电集成
  • 2篇光电集成器件

机构

  • 18篇中国科学院

作者

  • 18篇王鹏
  • 12篇李明
  • 5篇陈诺夫
  • 4篇李伟
  • 3篇戴瑞烜
  • 2篇彭长涛
  • 2篇白一鸣
  • 2篇尹志岗
  • 1篇刘宇
  • 1篇杨霏
  • 1篇王晓东

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 8篇2025
  • 4篇2024
  • 5篇2007
  • 1篇2006
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
具有布拉格反射器的n<Sup>+</Sup>/p型高抗辐照GaAs太阳电池
一种具有布拉格反射器的n<Sup>+</Sup>/p型高抗辐照砷化镓太阳电池结构，包括：一衬底，该衬底用于在其上进行太阳电池各层材料外延生长；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一布拉格反射器结构，该布拉格反射器结构制作在缓...
白一鸣陈诺夫戴瑞烜王鹏王晓东
文献传递
一种薄膜锆钛酸铅干法深刻蚀方法
本发明提供一种薄膜锆钛酸铅干法深刻蚀方法，涉及光电集成技术领域，用于解决现有刻蚀技术中无法实现薄膜锆钛酸铅高侧壁陡直度和光滑侧壁的问题。包括：提供待刻蚀的薄膜锆钛酸铅基片；在薄膜锆钛酸铅基片上沉积铬金属薄膜层；在铬金属薄...
李明官泽豪谢毓俊赵洸铭王鹏
非易失性C+L波段窄线宽可调谐激光器
本发明提供了一种非易失性C+L波段窄线宽可调谐激光器，包括：C+L波段光源，用于产生C+L波段激光；第一模斑转换器，用于调节C+L波段激光的光斑形状，得到第一光信号；宽带可调谐滤波芯片，包括级联的两个非易失性相变材料异质...
李明王鹏 谢毓俊 邹思硕 林宏焘 李昂 屈杨 金烨 魏茂良
非易失性光收发片上集成系统
本发明提供了一种非易失性光收发片上集成系统，涉及半导体光电集成技术领域，用于至少部分解决目前光子芯片尺寸大且静态功耗高的技术问题。系统包括：硅基异质集成光学平台，由下至上包括硅衬底、二氧化硅埋氧层、硅薄膜层、非易失性相变...
李明王鹏 谢毓俊 贠亦婷 林宏焘 李昂 杨梦涵 王道发 魏茂良
基于锆钛酸铅薄膜波导的非对称非均匀光栅耦合器
本发明提供了一种基于锆钛酸铅薄膜波导的非对称非均匀光栅耦合器，涉及光电集成器件技术领域，包括：光子芯片及光纤(8)；光子芯片从下至上依次包括衬底硅(1)、埋氧层(2)、硅反射层(3)、氧化硅隔离层(4)、锆钛酸铅薄膜层(...
王道发李明 谢毓俊王鹏
硅/单晶薄膜锆钛酸铅异质集成光学平台及其制备方法
本发明提供了一种硅/单晶薄膜锆钛酸铅异质集成光学平台，可应用于光电集成技术领域，该平台包括：硅器件区、键合层和锆钛酸铅器件区，其中，硅器件区和锆钛酸铅器件区分别键合在键合层的相对两侧；硅器件区包括硅耦合器以及硅基光电探测...
李明王鹏谢毓俊赵洸铭邱枫官泽豪
微环调制器
本公开提供了一种微环调制器，包括：第一电极，第一电极上形成有开口；第二电极，设置在开口内，第二电极和第一电极围成环形空间；环形波导，设置在环形空间内，环形波导基于锆钛酸铅材料制备，其中，环形波导包括第一直线波导，第一直线...
李明彭杰谢毓俊邱枫赵洸铭李伟王鹏
单片集成光电融合互连芯片及其制备方法
本发明提供了一种单片集成光电融合互连芯片及其制备方法，涉及光电集成技术领域，可以解决现有技术制备的互连芯片集成度、带宽和能效较低的问题。方法包括：衬底；介质层，设置于衬底的一侧；保护层，设置于介质层的远离衬底的一侧；其中...
李明李昂谢毓俊祁楠刘宇王鹏
基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器
本公开提供了一种基于锆钛酸铅薄膜材料的高速等离激元微环调制器，包括：第一电极，第一电极上形成有开口；第二电极，设置在开口内，第二电极和第一电极围成环形空间；环形波导，设置在环形空间内，环形波导基于锆钛酸铅材料制备且采用跑...
李明彭杰谢毓俊邱枫赵洸铭李伟王鹏
磁控溅射仪衬底固定夹具
本发明涉及固定夹具技术领域，特别是一种磁控溅射仪衬底固定夹具。用于固定磁控溅射仪所用的衬底。包括：一盖片，该盖片主体为长方形，在其一边有三个方形缺口，两端各有一个通孔；一衬底托，该衬底托为圆形，内部有两个螺丝孔，其孔距与...
王鹏陈诺夫尹志岗杨霏
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