2025年11月26日
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王聪修
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1
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天津大学电子信息工程学院
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陈智勇
天津大学电子信息工程学院
张之圣
天津大学电子信息工程学院
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1999
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采用MOD工艺制备PZT压电薄膜及其性能的研究
比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解(MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr<,0.52Ti<,0.48>)O<,3>铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能。利用XRD分析了薄膜的结晶过程,制得...
张之圣
陈智勇
王聪修
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金属有机化合物
锆钛酸铅
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