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蒋超

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶炉
  • 1篇硅

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇谢于柳
  • 1篇蒋超

传媒

  • 1篇机械工程师

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅单晶炉副室清炉机构设计被引量：2
2008年
为了解决现有硅单晶炉副炉室清理中存在的问题,提高清炉的效率,降低工人的劳动强度,设计了一种方便的清炉机构。该机构操作简单、方便、实用。
谢于柳蒋超
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