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蔡明谚
作品数:
1
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供职机构:
台湾中山大学
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发文基金:
国家教育部博士点基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
崔璨
复旦大学材料科学系
张群
复旦大学材料科学系
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真空科学与技...
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SiN_x介质层非晶IGZO薄膜晶体管的光照稳定性研究
2015年
通过对比电特性曲线、阈值电压、亚阈值摆幅等参数的变化趋势,深入分析了低温真空制备的Si Nx介质层非晶铟镓锌氧(a-IGZO)薄膜晶体管(TFT)在光照下的稳定性机理。实验结果表明,器件在光照下的稳定性良好。但如果在施加偏压的过程中同时进行光照,则会伴随有不同程度的电性曲线偏移,具体表现为对正偏压效果的抑制作用和对负偏压效果的促进作用。结合光照在器件的恢复过程中的影响综合分析后认为,光照的主要作用体现在光子对电子空穴对的激发,以及为电子提供能量增加越过势垒的几率。单一的光照影响有限,但在光照与偏压的共同作用下,往往会引起显著的电学性能变化,变化结果符合charge-trapping模型。
崔璨
蔡明谚
张鼎张
张群
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